我國電子工業部高純水水質試行標準
|
|
化學指標單位：μg/L
|
|
序號
|
水質項目
|
一級高純水指標
|
二級高純水指標
|
|
1
|
電阻率（25℃）MΩ·cm
|
≥15
|
≥10
|
|
2
|
電導率，μs/cm
|
0.05
|
0.1
|
|
3
|
PH值
|
6.8～7.2
|
6.6～7.4
|
|
4
|
細菌總數，個/mL
|
＜3
|
＜9
|
|
5
|
微粒（直徑＞0.5μm，粒/mL）
|
＜150
|
＜300
|
|
6
|
二氧化硅
|
＜10
|
＜20
|
|
7
|
有機物（以COD計）
|
＜0.3
|
＜0.5
|
|
8
|
鈉 Na
|
＜0.5
|
＜2
|
|
9
|
鐵 Fe
|
＜1
|
＜2
|
|
10
|
銅 Cu
|
＜0.5
|
＜1
|
|
11
|
鈣 Ca
|
＜1
|
＜3
|
|
12
|
鎂 Mg
|
＜0.2
|
＜1
|
|
13
|
鋅 Zn
|
＜0.5
|
＜1
|
|
14
|
錳 Mn
|
＜0.2
|
＜0.5
|
|
|
說明：①一級高純水適用于大規模集成電路，微波器件以及有相同要求到半導體器件產品。
②二級高純水適用于一般電路，分立器件以及有相同要求的半導體器件產品。
③本表按1980年電子工業部標準摘錄。 |
|
本條信息版權歸北京中天恒遠水處理設備公司所有,轉載請注明http://www.dgjsh.cn出處。
